SVCR3190

3軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: 真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。; 従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。; 従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。; こちらのモデルは高剛性仕様となります。

SVCR3190

磁性流体シール及びフィルタにより対策

真空部：温度 15℃〜50℃

駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃〜40℃

3 kg（第3関節換算）

真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。

従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。

アームバリエーション: 160 mm、190 mm、260 mm、330 mm

アーム関節部には、磁性流体シール装備

真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用

クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	SVCR3190-040-PM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ保持方式	落とし込み / 自重グリップ
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	全軸2相ステッピングモータ
可動範囲	アーム第3関節中心：380 mm 旋回角度（θ軸）：330度上下ストローク（Z軸）：40 mm
搬送速度	アーム（R軸）：300 mm/sec 旋回角度（θ軸）：120度/sec 上下ストローク（Z軸）：20 mm/sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度	1.33×10-6Pa
ユーティリティ	電源：DC24V
質量	ロボット本体約25 kg

＊本仕様はSVCR3190-040-PMの代表的な仕様です。
被搬送物、チャック形状により異なります。

関連製品