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半導体・ハイテク製造向けに設計
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ステッピングモータ
SVCR3260
3軸円筒座標型クリーンロボット
- 特徴
- 真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
- 従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
- 従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
製品紹介
モデル名
SVCR3260
設置環境
磁性流体シール及びフィルタにより対策
真空部：温度 15℃～50℃
駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃～40℃
昇降距離（Z軸）
20 mm/40 mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
2 kg（第3関節換算）
製品特徵
真空対応3軸円筒座標型ロボットで、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
従来型SVHRに比べ、可搬質量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。
従来型SVHRと取付互換をもたせた設計の為、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。
- アームバリエーション: 160 mm、190 mm、260 mm、330 mm
- アーム関節部には、磁性流体シール装備
- 真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用
- クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備
- 動作モニター装備
- 制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
- 全軸2相ステッピングモータ使用
- S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
- モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
- チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
- ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック
- 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
標準仕様
| ロボットアーム型式 | SVCR3260-040-PM | ||
|---|---|---|---|
| 搬送対象物 | ～300mm ウェーハ | ||
| ウェーハ保持方式 | 落とし込み / 自重グリップ | ||
| 機械構造 | 3軸円筒座標型 | ||
| モータ | 2相ステッピングモータ | ||
| 可動範囲 | アーム第3関節中心：520 mm 旋回角度（θ軸）：330度 上下ストローク（Z軸）：20 mm |
||
| 搬送速度（平均） | アーム（R軸）：610 mm/sec 旋回角度（θ軸）：340度/sec 上下ストローク（Z軸）：250 mm/sec |
||
| 搬送速度（最高） | アーム（R軸）：550 mm/sec 旋回角度（θ軸）：170度/sec 上下ストローク（Z軸）：30 mm/sec |
||
| 分解能 | アーム（R軸）：82 µm以下 旋回角度（θ軸）：0.009度 上下ストローク（Z軸）：1.25µm |
||
| 搬送レベル | 98 mm（フランジ取付面よりチャック取付面まで） | ||
| 繰り返し精度 | ±0.1mm以内 | ||
| 清浄度 | 磁性流体シール及びフィルタにより対策 | ||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
| ユーティリティ | 電源：DC24V±10% 8A | ||
| コントローラ型式 | C4000シリーズ | ||
| インタフェース | RS232C及びパラレルフォトI/O | ||
＊本仕様はSVCR3260-040-PM(ステッピングモータ仕様)の代表的な仕様です。
被搬送物、チャック形状により異なります。
