SVCR3330S

3軸円筒座標型クリーンロボット

特徴: 真空対応3軸円筒座標型ロボットです。; 真空チャンバ内で4 kg以下のサセプタ・トレイをツインチャックでの搬送に使用できます。; トランスファチャンバの中心に配置し、各処理室へのウェーハの受渡しができます。; 従来型LVHRに比べコストパフォーマンスに優れます。

GCR4210

磁性流体シール及びフィルタにより対策

真空部：温度 15℃～50℃

駆動部：（クリーンルーム内大気）温度 15℃～40℃

10 kg（第3関節換算）

真空対応3軸円筒座標型ロボットです。

真空チャンバ内で4 kg以下のトレイをツインチャックでの搬送に使用できます。

トランスファチャンバの中心に配置し、各処理室へのウェーハの受渡しができます。

従来型LVHRに比べコストパフォーマンスに優れます。

アーム関節部には、磁性流体シール装備

真空シール：磁性流体シール及びベローズ使用

クリーン対応：アーム内排気用に5µmメッシュフィルタ装備

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸2相ステッピングモータ使用

S 字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

ウェーハ保持：落し込み、自重グリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	SVCR3330S-060-PM
搬送対象物	342 mmトレイx2（代表例）
ウェーハ保持方式	落とし込み / 自重グリップ
機械構造	3軸円筒座標型
モータ	2相ステッピングモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：1075 mm 旋回角度（θ軸）：330度上下ストローク（Z軸）：60 mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：250 mm/sec 旋回角度（θ軸）：90度/sec 上下ストローク（Z軸）：30 mm/sec
搬送速度（最高）	アーム（R軸）：250 mm/sec 旋回角度（θ軸）：90度/sec 上下ストローク（Z軸）：30 mm/sec
分解能	アーム（R軸）：65µm以下旋回角度（θ軸）：0.0056度上下ストローク（Z軸）：2.777µm
搬送レベル	188.5 mm（フランジ取付面よりチャックの取付面まで）
繰り返し精度	±0.2mm以内
清浄度	磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度	1.33×10-6Pa
ユーティリティ	電源：DC24V±10% 11A
コントローラ型式	C4000シリーズ
通信方式	RS232C及びパラレルフォトI/O

＊本仕様はSVCR3330S-060-PM(ステッピングモータ仕様)の代表的な仕様です。
被搬送物、チャック形状により異なります。

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