SVCR3190

3軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 使用於真空環境的三軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。; 有效負載能力是傳統真空晶圓傳送機器人 (SVHR) 的兩倍，具有卓越的性價比。; 其設計可與傳統 SVHR 相容安裝，從而實現平穩的傳輸。; 此機型為高剛性規格。

SVCR3190

採用磁性流體密封和過濾器的對策

真空部：溫度 15℃〜50℃

驅動部：（無塵室/潔淨室）溫度 15℃〜40℃

3kg （手臂第３關節處基準）

使用於真空環境的三軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。

有效負載能力是傳統真空晶圓傳送機器人 (SVHR) 的兩倍，具有卓越的性價比。

其設計可與傳統 SVHR 相容安裝，從而實現平穩的傳輸。

臂長規格：160 mm、190 mm、260 mm、330 mm

臂關節配備磁流體密封

真空密封：磁流體密封和波紋管

無塵室適用：5µm 網狀過濾器用於臂內排氣

配置動作監視器

控制方式：RS232C 和平行光電 I/O

全軸均採用２相步進馬達

S 曲線加減速控制，實現高速、高精度晶圓輸送

另有伺服馬達可選

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式：下托式、重力夾持式

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	SVCR3190-040-PM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	下托式、重力夾持式
機械結構	3軸圓筒座標型
馬達	２相步進馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：380mm 旋轉角度（θ軸）：330度升降（Z軸） : 40mm
搬運速度	手臂（R軸）：300mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 20mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	採用磁性流體密封和過濾器的對策
耐真空度	1.33×10-6Pa
質量	機械手臂本體大約25kg
廠務	電源：DC24V

＊上述規格參數為SVCR3190-040-PM的標準規格。
實際規格參數可能會因被搬運物和牙叉形狀而異。

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