MCR3160C シリーズ(サーボモータ仕様)

3軸円筒座標型シングルアームクリーンロボット

設置環境

クリーンルーム内大気

シングルアーム

アーム長

160mm, 200mm

昇降距離

300mm / 400mm / 500mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

可搬質量

4 kg (第3関節換算)

ロボット型式

MCR3160C-300-AM

被搬送物

〜300 mmウェーハ

ウェーハ保持方式

チャックによる真空吸着で保持

機械構造形式

3軸円筒座標型

モータタイプ

ACサーボモータ

動作範囲

ワーク中心到達距離：567.7 mm

旋回角度(θ軸)：340度

Z軸行程 : 300mm

搬送速度

アーム(R軸)：1000 mm/sec

旋回角度(θ軸)：360度/sec
Z軸：350mm / sec

繰り返し精度

±0.1mm以内

クリーン度

ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）

ユーティリティ

電流電圧：単相 AC200V±10% 3kVA
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)

コントローラ型式

C5000Sシリーズ

インタフェース

RS232C, パラレルフォトI/O