無塵室等級對照表（ISO / FED STD 209E / EU GMP）

無塵室等級	ISO 14644-1			FED STD 209E	EU GMP分級（操作中）	粒子數標準（≧0.5µm）
超潔淨	ISO Class 1			-	-	≦10 顆/m3
非常潔淨	ISO Class 2			-	-	≦100 顆/m3
極高等級	ISO Class 3			Class 1	-	≦1,000 顆/m3
高等級	ISO Class 4			Class 10	A	≦10,000 顆/m3
中等級	ISO Class 5			Class 100	B	≦100,000 顆/m3
常見等級	ISO Class 6			Class 1,000	C	≦1,000,000 顆/m3
基本等級	ISO Class 7			Class 10,000	D	-
最低等級	ISO Class 8			Class 100,000	-	-

※粒子尺寸與常見應用對照
粒子尺寸 適用領域說明
≥0.5μm 半導體製程、光學組裝常用標準
≥0.3μm 醫療器材、製藥高標準應用
≥5μm GMP 規範針對藥品常見管控標準

※備註
ISO Class 為現行主流國際標準，適用各類精密產業（如半導體、面板、光電、醫療等）。
FED STD 209E 為舊制美國標準，已被 ISO 14644-1 取代，仍見於部分舊設備或文件中。
EU GMP 分級 用於藥廠與醫藥工業，依 A~D 級，動態（操作中）與靜態有不同標準，此表為操作中參考。
ISO 規範中可根據 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥1μm、≥5μm 不同粒徑訂定對應標準。