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邊緣夾緊式牙叉介紹

邊緣夾緊式牙叉介紹

July 22,2025

使用方式

將晶圓片的外緣由多個夾爪固定夾緊，晶圓片固定方式分為汽缸和彈簧等方式。

適用時機

搬送時不允許接觸加工面的晶圓片，以及搬送MEMS晶圓等薄晶圓種類，真空吸附時會對吸附面產的生應力，可能會損壞晶圓時使用。

伯努利牙叉的原理

AWC Sensor 功能原理說明

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