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步進馬達
SVCR3260
3軸圓筒座標無塵室用機械手臂
- 特點
- 真空3軸圓筒座標型機械手臂SVCR3000系。適用於真空腔室內的晶圓搬運。
- 相較於SVHR系列機械手臂，可搬運品質提升2倍，具有較好的性價比優勢。
- 另外也保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設備進行升級改造。
產品介紹
型號名稱
SVCR3260
使用環境
採用磁性流體密封和過濾器的對策
真空部：溫度 15℃～50℃
驅動部：（無塵室/潔淨室）溫度 15℃～40℃
升降軸可選用行程（Z軸）
20mm / 40mm
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
2kg （手臂第３關節處基準）
產品特點
真空3軸圓筒座標型機械手臂SVCR3000系。適用於真空腔室內的晶圓搬運。
相較於SVHR系列機械手臂，可搬運品質提升2倍，具有較好的性價比優勢。
另外也保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設備進行升級改造。
- 機械手臂標準臂長：160mm、190mm、260mm、330mm
- 手臂關節處使用磁力流體密封裝置
- 真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
- 提高潔淨度的方法：手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器
- 配置動作監視器
- 控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式
- 全軸採用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度地搬運半導體晶圓
- 另有伺服馬達可選
- 牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質
- 晶圓固定方式：下托式、重力夾持式
- 可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最佳的牙叉
標準規格
| 機械手臂型號 | SVCR3260-040-PM | ||
|---|---|---|---|
| 被搬運物 | ～12吋晶圓 | ||
| 晶圓吸附方式 | 下托式、重力夾持式 | ||
| 機械結構 | 3軸圓筒座標型 | ||
| 馬達 | ２相步進馬達 | ||
| 可動範圍 | 手臂地３關節中心：520mm 旋轉角度（θ軸）：330度 升降（Z軸） : 40mm |
||
| 搬運速度（平均） | 手臂（R軸）：300mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 20mm/sec |
||
| 搬運速度（最大） | 手臂（R軸）：550mm/sec 旋轉角度（θ軸）：170度/sec 升降（Z軸） : 30mm/sec |
||
| 精度 | 手臂（R軸）：82µm以下 旋轉角度（θ軸）：0.009度 升降（Z軸） : 1.25µm |
||
| 搬運高度 | 98mm（法蘭安裝面到上牙叉的晶圓安裝面的高度） | ||
| 重複性精度 | ±0.1mm以內 | ||
| 潔淨度 | 採用磁性流體密封和過濾器的對策 | ||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 8A | ||
| 控制器型號 | C4000系列 | ||
| 通訊方式 | RS232C及並列I/O通訊 | ||
＊上述規格參數為SVCR3260-040-PM（步進馬達）的標準規格。
實際規格參數可能會因被搬運物和牙叉形狀而異。
