SVCR3330S

3軸圓筒座標無塵室用機械手臂

特點: 真空3軸圓筒座標型機械手臂SVCR3000系列。; 雙牙叉結構可以在真空腔室內搬運4kg以下的基座或托盤。; 相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優勢。

SVCR3330S

採用磁性流體密封和過濾器的對策

真空部：溫度 15℃～50℃

驅動部：（無塵室/潔淨室）溫度 15℃～40℃

10 kg以下（手臂第３關節處基準）

真空3軸圓筒座標型機械手臂SVCR3000系列。

雙牙叉結構可以在真空腔室內搬運4kg以下的托盤。

手臂關節處使用磁力流體密封裝置

真空密封：磁流體密封裝置和波紋管

提高潔淨度的方法：手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用2相步進馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度地搬運半導體晶圓

另有伺服馬達可選

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式：下托式、重力夾持式

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	SVCR3330S-060-PM
被搬運物	342mm托盤x2片（代表性的尺寸）
晶圓吸附方式	下托式、重力夾持式
機械結構	3軸圓筒座標型
馬達	2相步進馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：1075mm 旋轉角度（θ軸）：330度升降（Z軸） : 60mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：250mm/sec 旋轉角度（θ軸）：90度/sec 升降（Z軸） : 30mm/sec
搬運速度（最高）	手臂（R軸）：380mm/sec 旋轉角度（θ軸）：135度/sec 升降（Z軸） : 45mm/sec
精度	手臂（R軸）：65µm以下旋轉角度（θ軸）：0.0056度升降（Z軸） : 2.777µm
搬運高度	188.5mm（法蘭安裝面到牙叉安裝面的高度）
重複性精度	±0.2mm以內
潔淨度	採用磁性流體密封和過濾器的對策
廠務	電源：DC24V±10% 11A
控制器型號	C4000S系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊

＊上述規格參數為SVCR3330S-060-PM（步進馬達）的標準規格。
實際規格參數可能會因被搬運物和牙叉形狀而異。

相關產品