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步進馬達
SVCR3160
3軸圓筒座標無塵室用機械手臂
- 特點
- 使用於真空環境的三軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。
- 有效負載能力是傳統真空晶圓傳送機器人 (SVHR) 的兩倍，具有卓越的性價比。
- 設計可與傳統 SVHR 相容安裝，從而實現平穩的傳輸。
產品介紹
型號名稱
SVCR3160
使用環境
採用磁性流體密封和過濾器的對策
真空部：溫度 15℃～50℃
驅動部：（無塵室/潔淨室）溫度 15℃～40℃
升降軸可選用行程（Z軸）
20 mm/40 mm
＊可根據設備規格需求變更設計
可搬運質量
2 kg （手臂第３關節處基準）
產品特點
使用於真空環境的三軸圓筒座標機械手臂可用於在真空腔室內輸送晶圓。
有效負載能力是傳統真空晶圓傳送機器人 (SVHR) 的兩倍，具有卓越的性價比。
設計可與傳統 SVHR 相容安裝，從而實現平穩的傳輸。
- 臂長規格：160 mm、190 mm、260 mm、330 mm
- 臂關節處配備磁力密封
- 真空密封：採用磁流體密封和波紋管
- 無塵室適用：配備 5µm 網狀過濾器，用於臂內排氣
- 配置動作監視器
- 控制方式：RS232C 和平行光電 I/O
- 全軸均採用２相步進馬達
- S 曲線加減速控制，實現高速、高精度晶圓輸送
- 另有伺服馬達可選
- 牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質
- 晶圓固定方式：下托式、重力夾持式
- 可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉
標準規格
| 機械手臂型號 | SVCR3160-020-PM | ||
|---|---|---|---|
| 被搬運物 | ～12吋晶圓 | ||
| 晶圓吸附方式 | 下托式、重力夾持式 | ||
| 機械結構 | 3軸圓筒座標型 | ||
| 馬達 | ２相步進馬達 | ||
| 可動範圍 | 被搬送物體中心到達距離：320mm 旋轉角度（θ軸）：330度 升降（Z軸） : 20mm |
||
| 搬運速度 | 手臂（R軸）：300mm/sec 旋轉角度（θ軸）：120度/sec 升降（Z軸） : 20mm/sec |
||
| 重複性精度 | ±0.1mm以內 | ||
| 潔淨度 | 採用磁性流體密封和過濾器的對策 | ||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 8A | ||
| 質量 | 機械手臂本體大約25kg | ||
| 控制器型號 | C4000系列 | ||
| 通訊方式 | RS232C及並列I/O通訊 | ||
＊上述規格參數為SVCR3160-020-PM的標準規格。
實際規格參數可能會因被搬運物和牙叉形狀而異。
