GTCR5280 Series
(伺服馬達)
GTFR5280 シリーズ(サーボモータ仕様)
5軸水平多関節型シングルアームツインチャッククリーンロボット
設置環境
クリーンルーム内大気
シングルアーム
到達距離
280 mm
昇降距離
320mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
4 kg (第3関節換算)
製品特徴
300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット
ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保
300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています
弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上
●ロボットのみで3FOUP対応可能
●ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮
●全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用（バッテリレス）
●ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
●被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックで対応可能
標準仕様
ロボット型式
GTFR5280-320-DM
被搬送物
〜300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式
チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式
5軸水平多関節型
モータタイプ
全軸ACサーボモータ（バッテリレス）
動作範囲
ワーク中心到達距離：893 mm
上下ストローク(Z軸)：320 mm
搬送速度
アーム(R軸)：900 mm/sec（円筒動作時）
上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec
繰り返し精度
±0.05 mm以内
クリーン度
ISOクラス1
ユーティリティ
電源：単相AC200V±10% 2 kVA
真空：-75 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量
ロボット本体 約80 kg
コントローラ型式
C5000Sシリーズ
インタフェース
RS232C, パラレルフォトI/O
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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