GTFR5280

5軸水平多関節型クリーンロボット

特徴: 300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。; ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。; 300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。; 弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。

GTFR5280

ISOクラス1 クリーンルーム内大気

320mm

4 kg（第3関節換算）

300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。

ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。

300 mm対応の半導体製造装置内、EFEMのウェーハ搬送に適しています。

弊社従来製品のGTCRと比べて動作禁止エリア、速度制限の影響を減らしサイクルタイム向上。

ロボットのみで3FOUP対応可能

ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮

アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用（バッテリレス）/ダイレクトドライブモータ

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックで対応可能

ロボットアーム型式	GTFR5280-320-DM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ吸着方式	チャックによる真空吸着で保持
機械構造	5軸水平多関節型
モータ	ACサーボモータ（バッテリレス）/ダイレクトドライブモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：893 mm 上下ストローク(Z軸)：320 mm
搬送速度（平均）	アーム(R軸)：950 mm/sec（円筒動作時）上下ストローク(Z軸)：320 mm/sec
繰り返し精度	±0.05 mm以内
清浄度	ISOクラス1
ユーティリティ	電源：単相AC200～240V -15%/+10% 50/60Hz 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量	ロボットアーム本体約70kg