GCR4210

4軸水平多関節型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。; EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

GCR4210

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

300mm / 320mm / 500mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

4 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

ロボットのみで2FOUP対応可能

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

従来機GHR4000タイプと比較して1.8倍高速

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	GCR4210-300-AM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ吸着方式	チャックによる真空吸着で保持
機械構造	4軸水平多関節型
モータ	ACサーボモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：760mm 旋回角度（θ軸）：335度上下ストローク（Z軸）：300mm
搬送速度	アーム（R軸）：635mm / 0.8sec 旋回角度（θ軸）：335度 / sec 上下ストローク（Z軸）：300mm / 0.9sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：単相AC200V ±10% 2kVA 真空要求：-53kPa以上（吸着チャック取付の場合）
質量	ロボットアーム本体約37kg
コントローラ型式	C5000Sシリーズ
通信方式	RS232C、パラレルフォトI/O