GTCR5280

5軸水平多関節型クリーンロボット

特徴: 300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。; ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。; 300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

GTCR5280

クリーンルーム内大気

300mm

＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます

4 kg（第3関節換算）

300 mm対応の5軸水平多関節型クリーンロボット。

ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保。

300 mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

アームバリエーション: 210 mm、280 mm

ロボットのみで2FOUP対応可能

ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮

シングルチャック仕様も選択可能

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	GTCR5280-300-AM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ吸着方式	チャックによる真空吸着で保持
機械構造	5軸水平多関節型
モータ	ACサーボモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：953mm 旋回角度（θ軸）：335度上下ストローク（Z軸）：300mm
搬送速度（平均）	アーム（R軸）：833mm/sec 旋回角度（θ軸）：250度/sec 上下ストローク（Z軸）：300mm/sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：単相AC200V±10% 2 kVA 真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量	ロボットアーム本体約50kg
コントローラ型式	C5000Sシリーズ
通信方式	RS232C、パラレルフォトI/O