GTFR5280

5軸水平多關節型無塵室用機械手臂

特點: 可用於12吋半導體晶圓搬運的5軸水平多關節無塵機械手臂。; 單臂雙牙叉結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。; 適用於12吋半導體生產設備內部，適用於EFEM的晶片搬運。; 與我司以往產品的GTCR相比，減少動作禁止區域、速度限制的影響，提高傳片效率。

GTFR5280

ISO標準Class 1 無塵室/潔淨室

320mm

4kg （手臂第３關節處基準）

可用於12吋半導體晶圓搬運的5軸水平多關節無塵機械手臂。

單臂雙牙叉結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用於12吋半導體生產設備內部，適用於EFEM的晶片搬運。

與我司以往產品的GTCR相比，減少動作禁止區域、速度限制的影響，提高傳片效率。

機械手臂可以單獨對應3個FOUP（280mm臂長）

雙牙叉結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

絕對值編碼器規格的AC伺服馬達，無需電池/直驅馬達

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	GTFR5280-320-DM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	5軸水平多關節型
馬達	AC伺服馬達，無需電池
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：893mm Z軸行程 : 320mm
搬運速度（平均）	手臂(R軸)：950mm/sec（圓筒動作時） Z軸：320mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 1
廠務	電源：單相 AC200～240V -15%/+10% 50/60Hz 真空：-53kPa以上（使用真空吸附式牙叉）
質量	機械手臂本體大約70kg