GCR4280

4軸水平多関節型クリーンロボット

特徴: スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。; EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。; 300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。; アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

GCR4280

ISOクラス2 クリーンルーム内大気

300mm

4 kg（第3関節換算）

スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボットで、300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300 mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。

アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。

ロボットのみで2FOUP対応可能

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能

ツインチャックの仕様も選択可

動作モニター装備

制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O

全軸ACサーボモータ使用

S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送

ウェーハ保持：真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック

チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能

被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

ロボットアーム型式	GCR4280-300-AM
搬送対象物	～300mm ウェーハ
ウェーハ吸着方式	チャックによる真空吸着で保持
機械構造	4軸水平多関節型
モータ	ACサーボモータ
可動範囲	ワーク中心到達距離：953 mm 旋回角度(θ軸)：335度上下ストローク(Z軸)：300 mm
搬送速度	アーム(R軸)：833 mm/1.3sec 旋回角度(θ軸)：335度/1.2sec 上下ストローク(Z軸)：300 mm/sec
繰り返し精度	±0.1mm以内
清浄度	ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時）
ユーティリティ	電源：単相 AC200V±10% 2 kVA (吸着チャック取付の場合)
コントローラ型式	C5000Sシリーズ
インタフェース	RS232C, パラレルフォトI/O