GTCR5280

5軸水平多關節型無塵室用機械手臂

特點: 可用於12吋半導體晶圓搬運的５軸水平多關節無塵室用機械手臂GTCR5000系列。; 單臂雙牙叉結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。; 適用於12吋半導體生產設備內部、檢測設備等的晶圓搬運。

GTCR5280

無塵室/潔淨室

300mm

＊可根據設備規格需求變更設計

4kg （手臂第３關節處基準）

可用於12吋半導體晶圓搬運的5軸水平多關節無塵室用機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙牙叉結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用於12吋半導體生產設備內部、檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長：210mm、280mm

機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）
或3個FOUP（280mm臂長）

雙牙叉結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

透過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的最佳化

能夠高速，高精度的搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式、伯努利非接觸式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	GTCR5280-300-AM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	5軸水平多關節型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：953mm 旋轉角度(θ軸)：335度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度	手臂（R軸）：833mm/sec 旋轉角度（θ軸）：250度/sec 升降（Z軸）：300mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : 單相AC200V±10% 2kVA 真空需求 : -53kPa以上（使用真空吸附式牙叉）
質量	機械手臂本體大約50kg
控制器型號	C5000S
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊