GTVCR5330

5軸真空水平多關節型無塵室用機械手臂

特點: 5軸真空水平多關節型無塵室用機械手臂GTVCR5000系列。; 比GTVHR5000系統具有更好的性價比優勢。; 在真空環境下對應並排擺放的腔體工作台佈局，靈活對應不同類型設備的多種佈局。; 透過優化機械手臂的空間尺寸，有利於減少真空腔室的內部容積。; 非常適合inline設備。

GTVCR5330

可使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
無塵室/潔淨室內大氣：溫度15℃〜40℃
處理室內溫度：最大450℃

4kg （手臂第３關節處基準）

5軸真空水平多關節型無塵室用機械手臂GTVCR5000系列。

比GTVHR5000系統具有更好的性價比優勢。

在真空環境下對應並排擺放的腔體工作台佈局，靈活對應不同類型設備的多種佈局。

透過優化機械手臂的空間尺寸，有利於減少真空腔室的內部容積。

非常適合inline設備。

機械手臂標準臂長：280mm、330mm

手臂關節處使用磁力流體密封裝置

真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管

提高潔淨度的方法：手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器

雙牙叉機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運半導體晶圓

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式：下托式、利用晶圓自重的邊緣夾持式、利用O型膠圈的摩擦力來保持位置

可以針對搬運物體、客戶設備佈局的實際狀況提供最優的牙叉

機械手臂型號	GTVCR5330-060-AM
被搬運物	～12吋晶圓
機械結構	5軸水平多關節型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	手臂第3關節中心基準：635mm 旋轉角度（θ軸）：360度升降（Z軸） : 60mm
搬運速度（平均）	手臂（R軸）：640mm/sec 旋轉角度（θ軸）：160度/sec 升降（Z軸）：60mm/sec
搬運速度（最大）	手臂（R軸）：950mm/sec 旋轉角度（θ軸）：200度/sec 升降（Z軸）：85mm/sec
精度	第1關節軸（J1軸）：0.00081度第2關節軸（J2軸）：0.00081度第3關節軸（J3軸）：0.00072度第3關節軸（J5軸）：0.00072度 Z軸（J4軸）：0.98µm
搬運高度	219mm（底座固定面到牙叉上的晶圓安裝面的高度）
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	可使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度	1×10^-6Pa
廠務	電源: 単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz
控制器型號	C5000S系列
通訊方式	RS232C或並列I/O通訊