GCR4280

4軸水平多關節型無塵室用機械手臂

特點: 適用於無塵室的4軸水平關節式機械手臂，可用於在12吋半導體製造設備和檢測設備中輸送晶圓。; 對於採用水平排列晶圓盒的佈局（例如EFEM），機械手臂配備一個可水平移動的軸，無需為每片晶圓單獨設置移動軸即可完成輸送。; 對於使用12吋晶圓的EFEM，此機械手臂可使用於2 Port。; 採用具有絕對編碼器的伺服馬達，因此無需返航。

GCR4280

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

300mm

4kg （手臂第３關節處基準）

專為半導體生產線或檢測設備的12吋晶圓搬運而設計。

使用絕對式編碼器的伺服馬達無需返航。

可獨立處理2個 FOUP（光纖晶圓加工單元）

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

另附雙牙叉規格可選

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用AC伺服馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運玻璃基板

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	GCR4280-300-AM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	4軸水平多關節型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：953mm 旋轉角度(θ軸)：335度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度	手臂（R軸）：833mm/1.3sec 旋轉角度（θ軸）：335度/1.2sec 升降（Z軸）：300mm/sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : 單相AC200V±10% 2kVA(使用真空吸附式牙叉)
控制器型號	C5000S系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊