GCR4210

Name: GCR4210
SKU: 61

4軸水平多關節型無塵室用機械手臂

GCR4210

ISO標準Class 2 無塵室/潔淨室

300mm / 320mm / 500mm

＊可根據設備規格需求變更設計

4kg （手臂第３關節處基準）

超潔淨間用多軸型, 4軸水平多關節型清潔機械手GCR4000-AM系列。

適用於支援12吋的半導體製造裝置內、檢查裝置等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長：210mm、280mm

機械手臂可以單獨對應2個FOUP

適應設備需求可以選擇底座固定方式或法蘭固定方式

配置動作監視器

控制通訊方式：RS232C及並列I/O方式

全軸採用絕對值編碼器規格的AC伺服馬達

S曲線加減速控制方式能夠高速、高精度的搬運玻璃基板

AC伺服馬達的採用以及對運動軌跡的最佳化，實現了搬運動作的高速化

比GHR4000類型速度快了1.8倍

晶圓固定方式：真空吸附式、下托式、邊緣夾持式、伯努利非接觸式

牙叉材質：CFRP（碳纖維）、鋁合金、高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類、設備佈局等要求提供最佳的牙叉

機械手臂型號	GCR4210-300-AM
被搬運物	～12吋晶圓
晶圓吸附方式	真空吸附式
機械結構	4軸水平多關節型
馬達	AC伺服馬達
可動範圍	被搬送物體中心到達距離：760mm 旋轉角度(θ軸)：335度升降（Z軸） : 300mm
搬運速度	手臂（R軸）：635mm/0.8sec 旋轉角度（θ軸）：335度/sec 升降（Z軸）：300mm/0.9sec
重複性精度	±0.1mm以內
潔淨度	ISO標準Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務	電源 : 單相AC200V±10% 2kVA 真空需求 : -53kPa以上（使用真空吸附式牙叉）
質量	機械手臂本體大約37kg
控制器型號	C5000S系列
通訊方式	RS232C及並列I/O通訊