GTCR5280 Series
(伺服馬達)
GTCR5280 シリーズ(サーボモータ仕様)
5軸水平多関節型シングルアームツインチャッククリーンロボット
設置環境
クリーンルーム内大気
シングルアーム
アーム長
210mm, 280mm
昇降距離
300mm
＊装置の仕様要件に応じて設計を変更できます
可搬質量
4 kg (第3関節換算)
製品特徴
スーパークリーンルーム対応GTCR5000シリーズ
ツインチャックを搭載することで、シングルアームでありながらツインアームの機能を確保。
ＡＣサーボモータ採用による高速搬送、安全性、安定性の高いシリーズ。
300mmまでの各種ワークだけでなく、様々なワークの搬送に適したシリーズ。
● 大口径ウェーハ、小型ガラス基板などの搬送が可能。
● 300mmウェーハであれば走行軸無しで、高速での3FOUPアクセスが可能。
● 全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用。
● 可搬質量： アーム第3関節換算4kg以下。
● 制御方式： RS232C及びパラレルフォトI/O。
● 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能。
● ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック。
標準仕様
ロボット型式
GTCR5280-300-AM
被搬送物
～300 mmウェーハ
ウェーハ保持方式
チャックによる真空吸着で保持
機械構造形式
5軸水平多関節型
モータタイプ
ACサーボモータ
動作範囲
ワーク中心到達距離：953 mm
旋回角度(θ軸)：335度
Z軸行程 : 300mm
搬送速度
アーム(R軸)：833 mm/sec
旋回角度(θ軸)：250度/sec
Z軸：300mm / sec
繰り返し精度
±0.1mm以内
クリーン度
ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時)
ユーティリティ
電源：単相AC200V±10% 2 kVA
真空：-53 kPa以上(吸着チャック取付の場合)
質量
ロボット本体 約50 kg
コントローラ型式
C5000Sシリーズ
インタフェース
RS232C, パラレルフォトI/O
傑億爾股份有限公司
統一編號: 89133741
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